项目简介：

稀土超磁致伸缩薄膜（RGMF）在信息技术及微机电产品中的应用(声表面波（SAW）器件、微泵、微阀等)极具挑战性。采用IBSD及MSD技术可在多种基片上获得厚度为0-5μm、具有高的低场磁敏性的正负磁伸膜、复合膜、多层膜(MSMM)。RGMF材料自身的特点使其能制成可调谐（或磁控）的SAW器件（MSAW）。

研究内容和发展方向：

1、磁耦合纳米级MSMM的研究(RGMF与MSMM的低场磁敏性)；

2、IDT(叉指换能器-决定MSAW器件性能的关键元件)的制作与测试技术研究；

3、MSAW器件的研究、试生产，使用考核与鉴定；

4、MSAW器件的产业化研究。

创新点：

1)在国内率先开展单靶离子束溅射制备RGMF及多靶制备MSMM膜材的研究工作。

2) MSMM研究工作重点放在具有负磁伸性能Sm－Fe及其与选定的耦合材料组成的高低场磁敏性多层膜上。

3)对MSMM膜材进行特殊条件下的真空热处理，以进一步提高其低场磁敏性。

4）所制作的IDT为压磁效应器件。

5）MSAW器件为可调谐、多用途。