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电致变色WOx薄膜的PVD法制备及性能研究

来源: 日期:2012-07-05阅读:

电致变色材料是一种在外电场作用下颜色、透明度发生可逆变化的材料。随着日益深入人心的社会节能及美学观念,采用电致变色材料制备的产品已在建筑、航空、汽车等领域有着巨大的应用潜力。在众多电致变色材料中,WO3薄膜具有成本低、对光调制幅度大、可逆性好、寿命长等优势,是最具应用前景的电致变色材料。

本项目研究以WO3粉为主要原料,掺入TiO2、MoO3等材料,经高温电子陶瓷烧结工艺制备WO3多晶陶瓷靶及掺杂型WO3陶瓷靶,运用射频反应磁控溅射技术、成膜后的真空加热处理及膜材掺杂等技术手段,制备出高性能WO3电致变色薄膜及多组元共掺杂型WO3薄膜。

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