专利号：201110167432.8

发明人：张永爱;郭太良;叶芸;胡利勤;吴朝兴;郑泳

摘要：本发明公开一种基于氧化物纳米结构的表面传导电子发射源及其制作方法。该表面传导电子发射源包括一玻璃基板，位于玻璃基板表面的平行交替排列的阴极和栅极，设置于阴极表面及阴栅间隙的氧化物纳米结构的电子发射层。本发明将平面型的场发射结构与氧化物纳米结构电子发射层的强电子发射性能有效结合，该氧化物纳米结构的电子发射层形成一氧化物纳米结构阵列，且该阵列位于阴极电极表面及阴栅间隙内。在本阵列中氧化物纳米结构的电子发射层既作为电子发射源又作为表面电子传导层，电子发射电流密度大、电子发射效率高；工艺过程简单、成本低、发射稳定可靠。