专利号：201210036523.2

发明人：陈晖;杜恒;陈淑梅;陈传铭

摘要：本发明公开了一种缝隙流稳定性控制装置，其特征在于，缝隙流稳定性控制装置是在透镜组和基底之间设置的装置，通过在注液腔下方设置导流槽阵列，回收腔两端和外侧设置回外收阻尼排孔，有助于维持观测区域稳定可靠的液体连续更新状态。注液腔输入的液体在导流槽阵列引导下，形成均匀指向回收腔的射流，液体流动均匀稳定。在基底运动工况下，内回收阻尼排孔起到了辅助回收的作用，而外回收阻尼排孔实时吸收可能泄漏的液滴，由此形成了多层的液体回收屏障。此外，由于本装置流场外围不需要采用密封，在简化系统的同时，避免了外加能量对流场边界的冲击，系统的稳定性和可靠性好。